材料库

GMPT, 2023/09/22

   材料库是TCAD仿真软件的重要组成部分，为工艺和器件仿真提供了半导体材料的关键信息。Nuwa TCAD仿真工具支持用户自定义材料库，涵盖各种属性的材料，包括工艺仿真和器件仿真关键材料特性参数和模型。

用户定制化材料库

   Nuwa TCAD仿真工具支持用户自定义材料库，主要功能有：

• 支持用户新增材料，将新增材料及其模型参数保存在软件中，并且可设置新增材料所属层级。
• 支持用户复制材料，并对其中的参数进行修改后保存以供后续使用。
• 器件仿真参数支持多种定义形式，包括模型固定公式、用户定义脚本、固定值、列表等。
• 针对当前项目，用户可将材料库中材料以及自定义的材料导入实例化材料库中，并对其材料参数进行修改，供当前项目工艺仿真和器件仿真使用。

材料仿真模型及参数列表

   依据材料属性及其工艺仿真和器件仿真需求，Nuwa TCAD仿真工具的材料库中各材料具备完备的材料仿真模型及参数列表：

• 器件仿真参数，如电子/空穴迁移率、电子/空穴有效质量、禁带宽度、导带/价带有效状态密度等
• 物理沉积模型及参数，包含如PECVD、PVD等沉积模型及其参数列表
• 物理刻蚀模型及参数，包含各向同性刻蚀、反应离子刻蚀等物理刻蚀模型及其参数列表
• 离子注入模型及参数，包含皮尔森、双皮尔森等模型及参数，以及SIMS掺杂分布数据
• 扩散及氧化的模型与参数

材料参数的可视化分析

   针对材料库中参数，可以对其相关变量进行可视化分析，方便用户分析物理机理以及查看参数是否准确。

涵盖各类材料属性

   材料库包含130种以上常用材料，涵盖导体、绝缘体、无机半导体、有机半导体等各类材料属性。