Nuwa 半导体工艺和器件仿真软件（TCAD）
分析半导体器件内部物理机理，优化工艺和器件设计，提高半导体器件的特性、产品研发效率和良率
软件功能 > 网格调整

网格调整

GMPT, 2023/09/19

   在TCAD仿真工具中，网格划分的重要性非常显著，直接影响了数值计算的准确性和稳定性。Nuwa TCAD仿真工具具备网格调整功能，帮助用户提高仿真准确性和稳定性。

网格局部调整功能

  • 具备网格局部调整功能，支持用户根据需求，选取区域并指定区域内材料和调整方向进行网格调整，以在已有的网格基础上细化操作。

网格质量评价

  • 具备网格质量评价功能，包含对单个网格质量控制参数，例如扭曲比、最小角度、最长边与最短边之比等参数的评估。

自适应网格

  • 手动修改自适应规则进行自动网格调整。
  • 在离子注入与氧化扩散等改变内部物理量梯度的工艺仿真中，软件自动进行自适应网格调整。